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一种硅基APD的集成电路

发布者:admin 时间:2019年01月29日 浏览次数:

本发明公开了一种硅基APD的集成电路,属于光电集成技术领域,它包括衬底、硅基雪崩光电二极管、光伏二极管阵列、双极型NPN三极管和其它由电阻电容构成的管理电路,在所述的衬底上设有数组V型槽,所述的硅基雪崩光电二极管、光伏二极管阵列和双极型NPN三极管分别设在一个V型槽内、并与管理电路集成于同一衬底上。该集成电路结合了传统的V型槽工艺和双极工艺,电路结构简单,可靠性高,串扰小,功耗低。

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